当社は長年、大手の下請けとして真空分野に携わっていましたが、自社での技術開発の必要性を感じ長年培ってきたノウハウを結集し、自社ブランドの開発を行っております。
チャンバー（真空空間）をつなぐゲートバルブは半導体や液晶などの製造行程において、非常にデリケートで重要な役割を果たします。
従来のゲートバルブの問題点である、開閉部分の改善を行い、微細なチリも発生しない「トルネードバルブ」を開発、さらに大型化に対応して「ロールゲートバルブ」を開発、業界で注目を集めています。
ゲートバルブの革命！真空装置が変わる！！
ロールゲートバルブ
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微細なチリもシャットダウン、半導体業界注目の「ロールゲートバルブ」
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USA・台湾 特許取得（日本・韓国・中国 特許出願中）
ロールゲートバルブの特長
◎パーティクルフリー！
…パーティクル発生が少ない。 （溶接ベローズを使用していない） ◎逆圧に対して安全性が大きい！ …ダブルシール基本型 ◎シール性が高い！ ◎ノーマルクローズである！ …エアーレス時でも、リークがない ◎軽量・コンパクト！ …シリンダー及び溶接ベローズを使用していない ◎静かで、震動がない！ ◎ロングライフが可能！ ◎メンテナンスが簡単！ …Ｏリング交換はSet upのまま可能 ◎チャンバー内埋蔵型も可能！ ◎取り付けが簡単！ ◎大型化に最適！ ◎開口はオーダーメイド対応！ 当社の製品・事業に興味を持たれた方、ご質問等はページ下部のお問合わせ先までご連絡ください。 |
| 効果 （メリット・同様他社との相違点・優位性など） |
開発・設計
○精度向上
○品質向上 ○デザイン性向上 ○リードタイム短縮 ○製品軽量化 ○コスト低減 ○設計変更の容易化 ○機能向上
製造・調達・製品
○リードタイム短縮
○生産性向上 ○操作性向上 ○制御向上 ○安全対策強化 ○省スペース
経営
○競争力向上
○プロセス最適化 ○省エネ ○環境対応 |
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| アピール先 |
産業分野
光学関連 , 医療関連 , 半導体・電気・電子部品
業種
精密部品切削加工 , 溶接
組立加工全て
光学機器関連全て
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詳しいお問合せは、下記まで
株式会社眞空精工
代表取締役 重高賢治郎
〒253-0071
神奈川県茅ヶ崎市萩園817-10
